Автоэмиссионный электронный микроскоп

Термоэмиссионные и автоэмиссионные электронные микроскопы

KYKY Technology Co., Ltd.

Мировой производитель оборудования для сфер аналитики и микроэлектроники, основанный в Китае в 1958 г. Продукты компании KYKY представлены на российском рынке с 2005 года. Головной офис и основной производственный комплекс KYKY расположены в Китае, R&D офисы - в Китае и России.
Продукция компании KYKY давно зарекомендовала себя не только на национальном, но и на зарубежных рынках. Оборудование, производимое компанией, сертифицировано по европейским стандртам CE, а система менеджмента качества компании подтверждена сертификатом ISO9001.

Познакомиться подробнее

Автоэмиссионный сканирующий
микроскоп EM8100

Электронный микроскоп с полевой эмиссией

KYKY ЕМ8100 – это последнее поколение высокоразрешающих сканирующих электронных микроскопов автоэмиссионного типа. EM8100 позволяет проводить СЭМ исследования множества образцов, включая металлы, керамику, полупроводники, полимеры и многое другое. Особенностью электронного микроскопа KYKY EM8100 является наличие электронной пушки с катодом типа Шоттки, большеразмерной камеры для возможности работы с габаритными образцами, а также полностью автоматизированного предметного пятиосевого столика.

Ключевые характеристики

Электронная пушка с катодом Шоттки, высокая яркость, хорошая монохромность, минимальное пятно луча, долгий срок с

Стабильный электронный пучок

Возможность ускорения и замедления пучка электронов.

Большой пятиосевой моторизованный столик.

Простой, удобный и дружественный интерфейс управления.

Наблюдение непроводящих образцов в режиме низкого напряжения

Программное обеспечение

Серия ЕМ8000 поддерживает пять синхронных окон, четыре канала (SE+BSE)
с окном ПЗС, серия ЕМ6000 поддерживает три синхронных окна, два канала
(SE+BSE) с окном ПЗС.
Авто функции: фокусировка, яркость/контрастность, коррекция аббераций,
центрирование электронного луча, подача высокого напряжения, коррекция
электронной пушки, обнаружение ошибок, 3D-сканирование и т. д. Разрешение
изображения, серия ЕМ6000 составляет 4096 х 4096 пикселей, серии ЕМ8000
составляет 16384 х 16384 пикселей. Формат изображения: ВМР, GIF, TIFF, JPG,
MNG, ICO CUR, TGA, РСХ, JP2, JPC, PGX, RAS, PNM, SKA, SEM.

Окна ПО: основной рабочий интерфейс, гранулярный анализ, цветовая сегментация (соответственно).

Окна ПО: цветовая коррекция, анализ поверхности, выделение краев (соответственно).

Дополнительные модули

Система микроанализа (EDS)

Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (EDS) обеспечивает
элементный анализ и позволяет проводить химический анализ материалов, начиная
от качественных исследований, и заканчивая комплексными количественными исследованиями.
• Детектор SDD
• Нитрид кремниевое окно (детектирование от Be)
• Удобное программное обеспечение для количественных и качественных исследований

Система дифракции обратного рассеяния электронов EBSD

EBSD регистрирует кристаллографические данные микрокомпонентов образца. Аморфная структура дает только шум в то время как кристаллические образцы с различными кристаллографическими решетками дадут контрастное изображение, которое можно использовать для интерпретации данных.
Использование EBSD совместно с EDS позволяет проводить фазовый анализ как по составу, так и кристаллографической структуре образцов, разделяя фазы одного состава но различной кристаллической структуры.

Система волнодисперсионного анализа WDS

Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (WDS), специально сконструированный для точного количественного анализа при установке на СЭМ.
• Микроанализ приблизительно в десять раз более чувствительный по сравнению с ЭДС
• Анализ элементов-примесей (<0.1 - <0.01%)
• Спектральное разрешение от 2эВ (Si Kα)
• Разделение близко расположенных пиков
• Точная идентификация пиков

Модуль растяжения, нагрева, охлаждения

Модуль для растяжения образцов позволяет проводить динамическийанализ деформации/разрушения микроструктур образца. Столик можетбыть использован для анализа материалов, полимеров, керамики и др.

Максимальное усилие на растяжение: 5000 Н. Нагрев и охлаждение вдиапазоне от -150 до 600 °С.

Модуль электронно-лучевой литографии

Модуль электронно-лучевой литографии, вкупе с
прецизионным столиком и системой генерации изображений, позволяют проводить полноценную нанолитографию с использованием электронного пучка. Опционально также
доступны модификации системы с генератором шаблонов, включая генератор наноразмерных структур. Модуль широко применяется в
микроэлектронике и создании наноструктурированных устройств, датчиков и др.

Модуль нано-манипулятора

Микро-нано манипулятор позволяет обеспечивать механическое перемещение объектов, а также одновременно
производить измерение механо-электрических свойств объекта.
Диапазон усилий 0,5 нН – 200 мН, регистрируемое отклонение 0,05 нм – 21 мм.

АСМ модуль для установки в электронный микроскоп

SEM KyKy имеет возможность непрерывного увеличения изображения, при этом большое рабочее расстояние и увеличенная глубина резкости позволяет устанавливать АСМ/СТМ модуль.
В данной конфигурации, SEM отвечает за
выбор основной области, а далее АСМ/СТМ
модуль уже производит детальную визуализацию поверхности методами атомно-силовой микроскопии. Система может
осуществлять прямое наблюдение образца от макроскопических до микроскопических размеров, от миллиметров до нанометров, от
шероховатой до гладкой поверхности.

Модули анализа катодолюминесценции CL

CL детекторы регистрирует люминесцентное излучение материала, испускаемое при его облучении пучком электронов с помощью катода электронного микроскопа. Для регистрации CL сигнала, детектор использует особый резонатор-монохроматор с прямой связью (высокочувствительный сенсор), обеспечивающий значительное улучшение эффективности сбора катодолюминесцентного сигнала в сравнении с другими детекторами (меньшие потери сигнала, большая светочувствительность в регистрируемом спектральном диапазоне).

Технические характеристики

Разрешение

1нм при З0кВ ( SE) / 3нм при 1кВ(SE) / 2.5нм при 30кВ (BSE)

Увеличение

материал анода - Cu, Fe, Cr, Mo и др.; фокус: 1 x 10 мм2 (настраиваемый); замкнутый контур водяного охлаждения;

Тип

Электронная пушка с катодом Шоттки

Ток пучка

10pA~0.3µA

Ускоряющее напряжение

0.2 – 30 кВ

Вакуумная система

Ионный, турбомолекулярный, ротационный насос, геттерный насос

Столик

Пятиосевой эуцентрический моторизованный столик

Диапазон перемещений

X (авто) 0 – 150 мм
Y (авто) 0 – 150 мм
Z (авто) 0 – 60 мм
R (авто) 360 градусов
T (авто) –5 – +75 градусов

Макс. размер образца

340 мм

Напылительные установки

установка для напыления C
NSC DCR

Установка для напыления благородных металлов
NSC DSR1

EBSD регистрирует кристаллографические данные микрокомпонентов образца. Аморфная структура дает только шум в то время как кристаллические образцы с различными кристаллографическими решетками дадут контрастное изображение, которое можно использовать для интерпретации данных.
Использование EBSD совместно с EDS позволяет проводить фазовый анализ как по
составу, так и кристаллографической структуре образцов, разделяя фазы одного
состава но различной кристаллической структуры.

Установка для напыления углерода и благородных металловNSC DSCR

Компактная система нанесения токопроводящих покрытий включающая в себя как напыление углерода, так и магнетронное напыление благородных металлов таких как золото (Au), палладий(Pd), платина(Pt) и золото/палладий. DSCR - это универсальная система для подготовки образцов к исследованию в сканирующем электронном микроскопе. Дружественный интерфейс программного обеспечения и полностью автоматизированные процессы напыления позволяют начинающим пользователям быстро освоить управление установкой.

Установка для напыления углерода и металлов, в том числе неблагородныхNSC DSCT

Высоковакуумная установка нанесения токопроводящих покрытий включает в себя как вставку для испарения углеродной нити, так и вставку для магнетронного распыления различных, в том числе и неблагородных, металлов, например, хрома(Cr), вольфрама(W), иридия(Ir) и т.д.

Данная установка позволяет получить высококачественные мелкозернистые однородные пленки, что необходимо при работе на больших увеличениях в сканирующем электронном микроскопе с полевой эмиссией.

Установка для напыления металлов методом термического испаренияNSC DTT

DTT представляет собой настольный термический испаритель с турбомолекулярным насосом для вакуумного осаждения тонких пленок. Испарение с тремя источниками и системой выбора источника испарения (лодочка/корзина/змеевик) идеально подходит для осаждения многослойных материалов или сплавов. Эта вакуумно-испарительная система с подходящими размерами способна достичь желаемого давления за короткое время, а процесс нанесения покрытия может происходить в течение нескольких минут. Подходит для лабораторных исследований.