Где применяется ФСМ 1201П
Кремниевые пластины
Неразрушающий контроль полированных пластин диаметром до 200 мм.
Параметры материала
Оценка кислорода, углерода и однородности по методикам SEMI.
Технологический контроль
Исследование эпитаксиальных слоёв с соответствующей конфигурацией.
Ключевые особенности
Спектральная область
400–7800 см⁻¹
Разрешение
1,0 см⁻¹
Программа измерения
FSpec регистрирует, обрабатывает и сохраняет спектры.
Методика
Режим, пробу и градуировку подбирают под вещество и задачу.
ПО для работы с прибором
SemiSpec управляет тестером ФСМ 1201П, измерительным столом, регистрацией и обработкой спектров, расчётом параметров пластин и формированием отчётов.
SemiSpec
Специализированная программа тестера ФСМ 1201П.
Измерения
Параметры кремниевых пластин по соответствующим методикам.
Другие программы
Полный каталог ПО «Инфраспек» показан на странице направления; совместимость уточняется отдельно.
Оснастка, пробоподготовка и расходники
Пластины
Стол и держатели под диаметр 76–200 мм; метод измерения согласуют по структуре.
Жидкие пробы
Разборные кюветы и окна; материал и толщину слоя выбирают по пробе.
Газовые пробы
Газовые кюветы с нужной длиной оптического пути и способом подачи.
Расходные материалы
KBr, вазелиновое масло, окна, прокладки и плёнки для проверки — совместимость уточняем.
Технические характеристики ФСМ 1201П
Производитель
Инфраспек
Диапазон
400–7800 см⁻¹
Спектральное разрешение
1,0 см⁻¹
Диаметр пластин
76, 100, 125, 150 и 200 мм
Измерение в точке
Не более 20 с
Диаметр ИК-пучка
6 мм
Позиционирование стола
0,5 мм
Параметры подтверждены производителем. Состав поставки и совместимость приставок согласуются отдельно.
