подложки до 12 дюймов
РФЭС в производственной среде

Элементный и химический анализ поверхности подложек с возможностью подключения камеры загрузки к производственной линии.

Все характеристики

Промышленный РФЭС-спектрометр

HUAWEI Titan

Каталог

Кому подходит это решение

Анализ поверхности

Материаловедение

Тонкие плёнки

Полупроводники

Катализаторы

Покрытия

Научные исследования

Контроль процессов

Ключевые преимущества HUAWEI Titan

Регистрируется сигнал из приповерхностной области.

Анализ поверхности

Вакуумная система создаёт условия измерения.

Сверхвысокий вакуум

Метод РФЭС различает элементы и их химическое окружение.

Химическое состояние

Манипулятор рассчитан на держатели крупных подложек.

Подложки до 12 дюймов

Интегрированное ПО управляет узлами и данными.

Обработка спектров

Полусферический анализатор регистрирует энергии фотоэлектронов.

Энергетический анализ

Практические задачи

Исследовать состав и химическое состояние поверхности.

Металлическое покрытие

Сопоставить состояние поверхностных слоёв.

Полупроводниковая подложка

Изучить химическое состояние активной поверхности.

Катализатор

Оценить состав поверхностного слоя.

Плёночный материал

Как проходит анализ поверхности

Согласуют материал, размеры и ограничения.

Образец

1

Интерпретируют элементы и химические состояния.

Вывод

5

Образец размещают в вакуумной системе.

Загрузка

2

Рентгеновский источник вызывает эмиссию фотоэлектронов.

Возбуждение

3

Регистрируют энергетический спектр.

Анализ

4

Метод и измерительная система

Аналитическая камера и полусферический анализатор позволяют исследовать поверхность подложек.

Промышленный РФЭС-спектрометр

Метод

подложки до 12 дюймов

Диапазон

Геометрию и подготовку согласуют по методике.

Образец

РФЭС в производственной среде

Результат

Подобрать дополнительное оборудование

Оснастка и подготовка к исследованию

Состав решения подбираем по образцу, методу и задаче. Значки поясняют назначение компонентов.

Подбирают под геометрию и материал.

Держатели образцов

Согласуют требования к размещению и работе.

Вакуумная инфраструктура

Методику выбирают по задаче исследования.

Подготовка поверхности

Исключают загрязнение поверхности при подготовке.

Контроль чистоты

Выбирают режимы измерения и интерпретации.

Обработка данных

От образца к результату РФЭС

Измерение

Обработка

Результат

Образец

Задача

Определяют материал и требуемые данные.

Подготовка

Учитывают форму и состояние образца.

Условия

Выбирают режим по методике.

Сигнал

Регистрируют отклик образца.

Вывод

Сопоставляют результат с задачей.

Оборудование настроено под вашу задачу, а вы получаете стабильный результат

04

Обучение и методика

Обучаем персонал работе по согласованной методике для получения стабильного результата

05

Сервисное сопровождение

Гарантию и сервис согласуем для выбранной конфигурации оборудования.

03

Внедрение и настройка

Поставляем оборудование, запускаем его на площадке и настраиваем под рабочий процесс

02

Проверка применимости

При необходимости проверяем решение на ваших или аналогичных образцах до поставки

Подбор решения

01

Для подбора нужны материал, размеры образца, задача анализа и условия измерения.

Мы отвечаем не только за поставку оборудования

Мы помогаем клиенту пройти весь путь:

Демонстрационная лаборатория

Шлифование
и полирование

Запрессовка
и заливка

Микроскопия (оптическая и стерео)

Отрезание
образцов

Измерение твердости

Химический анализ (ОЭС)

Проверка задачи и методики исследования

Подбираем конфигурацию прибора и подготовку образца. Доступность измерений и площадку согласуем отдельно.

В собственной лаборатории проверяем доступные методы подготовки и исследования. При необходимости согласуем партнёрскую площадку.

Проверить на своих образцах

Как проходит проверка решения

С чего начать работу

Передать материал и размеры образца
Указать метод и условия
Сообщить требуемые результаты

Образцы, метод и площадку подбираем по задаче

Тестирование проводится в рамках подбора решения и позволяет заранее оценить результат перед закупкой оборудования

Форматы участия

очно в лаборатории
онлайн с демонстрацией
отчёт с результатами

Получаем образцы или параметры

Согласуем проверку вашей задачи

Фиксируем результат и режимы

Формируем решение и коммерческое предложение

Партнёрская лабораторная база

Компетенции партнёров

Помимо собственной лаборатории, используем партнёрские демонстрационные центры и площадки действующих пользователей оборудования.

Это позволяет увидеть решение в реальных условиях и получить практическую обратную связь. Подходящую площадку и формат проверки подбираем под вашу задачу.

Электронная микроскопия
и анализ структуры

ИНСКАН

Рентгеновский анализ
на действующем оборудовании

СПЕКТРОН

Механические испытания
материалов

Экситон-Тест

Оптико-эмиссионный анализ
на производстве

АКТИВ

Рентгенофазовый и
рентгеноспектральный анализ

Экситон-АНАЛИТИК